| 序号 | 股东名称 | 持股数量 | 流通% | 更新日期 |
| 1 | 沈琦 | 26180485股 | 5.5009% | 2024-06-30 |
| 2 | 香港中央结算有限公司 | 25331023股 | 5.3225% | 2024-06-30 |
| 3 | 沈馥 | 24007825股 | 5.0444% | 2024-06-30 |
| 4 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 14180124股 | 2.9795% | 2024-06-30 |
| 5 | 国泰君安证券股份有限公司-国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 3960585股 | 0.8322% | 2024-06-30 |
| 6 | 新华人寿保险股份有限公司-传统-普通保险产品-018L-CT001深 | 3417500股 | 0.7181% | 2024-06-30 |
| 7 | 中国农业银行股份有限公司-中证500交易型开放式指数证券投资基金 | 3384583股 | 0.7112% | 2024-06-30 |
| 8 | 李文 | 3285894股 | 0.6904% | 2024-06-30 |
| 9 | 中国银行股份有限公司-国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数证券投资基金 | 2730175股 | 0.5737% | 2024-06-30 |
| 10 | 东志刚 | 2550000股 | 0.5358% | 2024-06-30 |
| 11 | 沈琦 | 26180485股 | 8.219% | 2024-03-31 |
| 12 | 香港中央结算有限公司 | 25726570股 | 8.077% | 2024-03-31 |
| 13 | 沈馥 | 24007825股 | 7.537% | 2024-03-31 |
| 14 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 14180124股 | 4.452% | 2024-03-31 |
| 15 | 李文 | 4269594股 | 1.34% | 2024-03-31 |
| 16 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 4073906股 | 1.279% | 2024-03-31 |
| 17 | 新华人寿保险股份有限公司－传统－普通保险产品-018L-CT001深 | 3417500股 | 1.073% | 2024-03-31 |
| 18 | 泰康人寿保险有限责任公司－投连－行业配置 | 3338100股 | 1.048% | 2024-03-31 |
| 19 | 中国农业银行股份有限公司－中证500交易型开放式指数证券投资基金 | 3226000股 | 1.013% | 2024-03-31 |
| 20 | 中国银行股份有限公司－国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数证券投资基金 | 3021575股 | 0.949% | 2024-03-31 |
| 21 | 沈琦 | 26180485股 | 8.219% | 2023-12-31 |
| 22 | 沈馥 | 24007825股 | 7.537% | 2023-12-31 |
| 23 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 18939400股 | 5.946% | 2023-12-31 |
| 24 | 香港中央结算有限公司 | 9556409股 | 3% | 2023-12-31 |
| 25 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 4838061股 | 1.519% | 2023-12-31 |
| 26 | 李文 | 4310094股 | 1.353% | 2023-12-31 |
| 27 | 沈琦 | 26180485股 | 8.219% | 2023-09-30 |
| 28 | 沈馥 | 24007825股 | 7.537% | 2023-09-30 |
| 29 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 19037200股 | 5.977% | 2023-09-30 |
| 30 | 香港中央结算有限公司 | 9045761股 | 2.84% | 2023-09-30 |
| 31 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 5808150股 | 1.823% | 2023-09-30 |
| 32 | 东志刚 | 4471252股 | 1.404% | 2023-09-30 |
| 33 | 李文 | 4434294股 | 1.392% | 2023-09-30 |
| 34 | 中国银行股份有限公司－国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数证券投资基金 | 3871475股 | 1.215% | 2023-09-30 |
| 35 | 沈琦 | 26180485股 | 8.219% | 2023-06-30 |
| 36 | 沈馥 | 24007825股 | 7.537% | 2023-06-30 |
| 37 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 19037200股 | 5.977% | 2023-06-30 |
| 38 | 香港中央结算有限公司 | 10438816股 | 3.277% | 2023-06-30 |
| 39 | 中国工商银行股份有限公司－富国天惠精选成长混合型证券投资基金(LOF) | 5500000股 | 1.727% | 2023-06-30 |
| 40 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 4642771股 | 1.458% | 2023-06-30 |
| 41 | 李文 | 4515594股 | 1.418% | 2023-06-30 |
| 42 | 东志刚 | 4471252股 | 1.404% | 2023-06-30 |
| 43 | 沈琦 | 26180485股 | 8.219% | 2023-03-31 |
| 44 | 沈馥 | 24007825股 | 7.537% | 2023-03-31 |
| 45 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 23796476股 | 7.471% | 2023-03-31 |
| 46 | 中国工商银行股份有限公司－富国天惠精选成长混合型证券投资基金(LOF) | 8000000股 | 2.512% | 2023-03-31 |
| 47 | 香港中央结算有限公司 | 7907128股 | 2.482% | 2023-03-31 |
| 48 | 宁波梅山保税港区毓朗创业投资合伙企业(有限合伙) | 5971110股 | 1.875% | 2023-03-31 |
| 49 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 5751200股 | 1.806% | 2023-03-31 |
| 50 | 沈琦 | 26180485股 | 8.219% | 2022-09-30 |
| 51 | 沈馥 | 24007825股 | 7.537% | 2022-09-30 |
| 52 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 23796476股 | 7.471% | 2022-09-30 |
| 53 | 中国工商银行股份有限公司－富国天惠精选成长混合型证券投资基金(LOF) | 12000106股 | 3.767% | 2022-09-30 |
| 54 | 香港中央结算有限公司 | 8629285股 | 2.709% | 2022-09-30 |
| 55 | 宁波梅山保税港区毓朗创业投资合伙企业(有限合伙) | 5971110股 | 1.875% | 2022-09-30 |
| 56 | 东志刚 | 4471252股 | 1.404% | 2022-09-30 |
| 57 | 李文 | 4181594股 | 1.313% | 2022-09-30 |
| 58 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 4144740股 | 1.301% | 2022-09-30 |
| 59 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 3376456股 | 1.06% | 2022-09-30 |
| 60 | 沈琦 | 26180485股 | 8.219% | 2022-06-30 |
| 61 | 沈馥 | 24007825股 | 7.537% | 2022-06-30 |
| 62 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 23796476股 | 7.471% | 2022-06-30 |
| 63 | 中国工商银行股份有限公司－富国天惠精选成长混合型证券投资基金(LOF) | 12000091股 | 3.767% | 2022-06-30 |
| 64 | 香港中央结算有限公司 | 7912947股 | 2.484% | 2022-06-30 |
| 65 | 宁波梅山保税港区毓朗创业投资合伙企业(有限合伙) | 5971110股 | 1.875% | 2022-06-30 |
| 66 | 李文 | 5550822股 | 1.743% | 2022-06-30 |
| 67 | 东志刚 | 4259052股 | 1.337% | 2022-06-30 |
| 68 | 基本养老保险基金一二零六组合 | 4092487股 | 1.285% | 2022-06-30 |
| 69 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 3556740股 | 1.117% | 2022-06-30 |
| 70 | 沈琦 | 26180485股 | 8.219% | 2022-03-31 |
| 71 | 沈馥 | 24007825股 | 7.537% | 2022-03-31 |
| 72 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 23796476股 | 7.471% | 2022-03-31 |
| 73 | 香港中央结算有限公司 | 9964597股 | 3.128% | 2022-03-31 |
| 74 | 中国工商银行股份有限公司－富国天惠精选成长混合型证券投资基金(LOF) | 9008931股 | 2.828% | 2022-03-31 |
| 75 | 宁波梅山保税港区毓朗创业投资合伙企业(有限合伙) | 5971110股 | 1.875% | 2022-03-31 |
| 76 | 李文 | 5550822股 | 1.743% | 2022-03-31 |
| 77 | 东志刚 | 4129452股 | 1.296% | 2022-03-31 |
| 78 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 4021340股 | 1.263% | 2022-03-31 |
| 79 | 基本养老保险基金一二零六组合 | 3681824股 | 1.156% | 2022-03-31 |
| 80 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 23796476股 | 8.015% | 2021-12-31 |
| 81 | 沈琦 | 22898485股 | 7.712% | 2021-12-31 |
| 82 | 沈馥 | 20369350股 | 6.86% | 2021-12-31 |
| 83 | 中国工商银行股份有限公司－富国天惠精选成长混合型证券投资基金(LOF) | 7588400股 | 2.556% | 2021-12-31 |
| 84 | 香港中央结算有限公司 | 6618934股 | 2.229% | 2021-12-31 |
| 85 | 宁波梅山保税港区毓朗创业投资合伙企业(有限合伙) | 5971110股 | 2.011% | 2021-12-31 |
| 86 | 李文 | 4440521股 | 1.496% | 2021-12-31 |
| 87 | 宁波银行股份有限公司－景顺长城成长龙头一年持有期混合型证券投资基金 | 4397544股 | 1.481% | 2021-12-31 |
| 88 | 中国建设银行股份有限公司－景顺长城环保优势股票型证券投资基金 | 3025698股 | 1.019% | 2021-12-31 |
| 89 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 2962040股 | 0.998% | 2021-12-31 |
| 90 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 26532876股 | 8.983% | 2021-09-30 |
| 91 | 沈琦 | 22898485股 | 7.753% | 2021-09-30 |
| 92 | 沈馥 | 18811992股 | 6.369% | 2021-09-30 |
| 93 | 中国工商银行股份有限公司－富国天惠精选成长混合型证券投资基金(LOF) | 9390000股 | 3.179% | 2021-09-30 |
| 94 | 香港中央结算有限公司 | 6799516股 | 2.302% | 2021-09-30 |
| 95 | 宁波梅山保税港区毓朗创业投资合伙企业(有限合伙) | 5971110股 | 2.022% | 2021-09-30 |
| 96 | 宁波银行股份有限公司－景顺长城成长龙头一年持有期混合型证券投资基金 | 3959587股 | 1.341% | 2021-09-30 |
| 97 | 中国建设银行股份有限公司－景顺长城环保优势股票型证券投资基金 | 3507424股 | 1.188% | 2021-09-30 |
| 98 | 中国工商银行股份有限公司－海富通改革驱动灵活配置混合型证券投资基金 | 3247055股 | 1.099% | 2021-09-30 |
| 99 | 李文 | 2769105股 | 0.938% | 2021-09-30 |
| 100 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 26532876股 | 8.983% | 2021-06-30 |
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