| 序号 | 股东名称 | 持股数量 | 流通% | 更新日期 |
| 1 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 73681529股 | 10.0629% | 2024-06-30 |
| 2 | 杨云春 | 46086680股 | 6.2942% | 2024-06-30 |
| 3 | 香港中央结算有限公司 | 6950727股 | 0.9493% | 2024-06-30 |
| 4 | 国泰君安证券股份有限公司-国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 6614033股 | 0.9033% | 2024-06-30 |
| 5 | 中金期货有限公司-中金期货-融汇1号资产管理计划 | 5532188股 | 0.7555% | 2024-06-30 |
| 6 | 银河德睿资本管理有限公司 | 4999981股 | 0.6829% | 2024-06-30 |
| 7 | 刘琼 | 4875372股 | 0.6658% | 2024-06-30 |
| 8 | 杭州乐信投资管理有限公司-乐信长阳私募证券投资基金 | 3000082股 | 0.4097% | 2024-06-30 |
| 9 | 马鞍山郑蒲港新区综合保税区投资有限公司 | 2712127股 | 0.3704% | 2024-06-30 |
| 10 | 沈幼生 | 2560000股 | 0.3496% | 2024-06-30 |
| 11 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 73681529股 | 12.412% | 2024-03-31 |
| 12 | 杨云春 | 46086680股 | 7.764% | 2024-03-31 |
| 13 | 香港中央结算有限公司 | 8271180股 | 1.393% | 2024-03-31 |
| 14 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 6187233股 | 1.042% | 2024-03-31 |
| 15 | 中金期货有限公司－中金期货－融汇1号资产管理计划 | 5532188股 | 0.932% | 2024-03-31 |
| 16 | 银河德睿资本管理有限公司 | 5471008股 | 0.922% | 2024-03-31 |
| 17 | 上海浦东发展银行股份有限公司－德邦半导体产业混合型发起式证券投资基金 | 5394200股 | 0.909% | 2024-03-31 |
| 18 | 刘琼 | 4875372股 | 0.821% | 2024-03-31 |
| 19 | 杭州乐信投资管理有限公司－乐信长阳私募证券投资基金 | 3000082股 | 0.505% | 2024-03-31 |
| 20 | 马鞍山郑蒲港新区综合保税区投资有限公司 | 2712127股 | 0.457% | 2024-03-31 |
| 21 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 73681529股 | 12.618% | 2023-12-31 |
| 22 | 杨云春 | 36839180股 | 6.309% | 2023-12-31 |
| 23 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 7279776股 | 1.247% | 2023-12-31 |
| 24 | 中金期货有限公司－中金期货－融汇1号资产管理计划 | 5532188股 | 0.947% | 2023-12-31 |
| 25 | 香港中央结算有限公司 | 5357410股 | 0.917% | 2023-12-31 |
| 26 | 银河德睿资本管理有限公司 | 4961755股 | 0.85% | 2023-12-31 |
| 27 | 刘琼 | 4875372股 | 0.835% | 2023-12-31 |
| 28 | 中国工商银行股份有限公司－华安媒体互联网混合型证券投资基金 | 3688064股 | 0.632% | 2023-12-31 |
| 29 | 杭州乐信投资管理有限公司－乐信长阳私募证券投资基金 | 3000082股 | 0.514% | 2023-12-31 |
| 30 | 马鞍山郑蒲港新区综合保税区投资有限公司 | 2712127股 | 0.464% | 2023-12-31 |
| 31 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 74415027股 | 12.742% | 2023-09-30 |
| 32 | 杨云春 | 36839180股 | 6.308% | 2023-09-30 |
| 33 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 9997044股 | 1.712% | 2023-09-30 |
| 34 | 香港中央结算有限公司 | 9070330股 | 1.553% | 2023-09-30 |
| 35 | 青岛经梅投资合伙企业(有限合伙) | 8317800股 | 1.424% | 2023-09-30 |
| 36 | 中金期货有限公司－中金期货－融汇1号资产管理计划 | 7748934股 | 1.327% | 2023-09-30 |
| 37 | 中国银河证券股份有限公司 | 4945385股 | 0.847% | 2023-09-30 |
| 38 | 刘琼 | 4875372股 | 0.835% | 2023-09-30 |
| 39 | 杭州乐信投资管理有限公司－乐信长阳私募证券投资基金 | 3000082股 | 0.514% | 2023-09-30 |
| 40 | 马鞍山郑蒲港新区综合保税区投资有限公司 | 2712127股 | 0.464% | 2023-09-30 |
| 41 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 81016500股 | 13.872% | 2023-06-30 |
| 42 | 杨云春 | 36839180股 | 6.308% | 2023-06-30 |
| 43 | 青岛经梅投资合伙企业(有限合伙) | 12330000股 | 2.111% | 2023-06-30 |
| 44 | 国泰君安证券股份有限公司-国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 7810249股 | 1.337% | 2023-06-30 |
| 45 | 中金期货有限公司-中金期货-融汇1号资产管理计划 | 7748934股 | 1.327% | 2023-06-30 |
| 46 | 香港中央结算有限公司 | 6829772股 | 1.169% | 2023-06-30 |
| 47 | 中国银河证券股份有限公司 | 4929516股 | 0.844% | 2023-06-30 |
| 48 | 刘琼 | 4875372股 | 0.835% | 2023-06-30 |
| 49 | 吕银用 | 2891800股 | 0.495% | 2023-06-30 |
| 50 | 华菱津杉(天津)产业投资基金合伙企业(有限合伙) | 2712127股 | 0.464% | 2023-06-30 |
| 51 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 88362101股 | 15.13% | 2023-03-31 |
| 52 | 杨云春 | 42049180股 | 7.2% | 2023-03-31 |
| 53 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 88362101股 | 15.314% | 2022-12-31 |
| 54 | 杨云春 | 44270305股 | 7.672% | 2022-12-31 |
| 55 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 88362101股 | 15.314% | 2022-09-30 |
| 56 | 杨云春 | 44270305股 | 7.672% | 2022-09-30 |
| 57 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 88362101股 | 15.314% | 2022-06-30 |
| 58 | 杨云春 | 44270305股 | 7.672% | 2022-06-30 |
| 59 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 88362101股 | 15.314% | 2022-03-31 |
| 60 | 杨云春 | 44270305股 | 7.672% | 2022-03-31 |
| 61 | 杨云春 | 61341759股 | 16.754% | 2021-09-30 |
| 62 | 北京集成电路制造和装备股权投资中心(有限合伙) | 7610933股 | 2.079% | 2021-09-30 |
| 63 | 香港中央结算有限公司 | 6667811股 | 1.821% | 2021-09-30 |
| 64 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 4598700股 | 1.256% | 2021-09-30 |
| 65 | 刘琼 | 4560372股 | 1.246% | 2021-09-30 |
| 66 | 中国银行股份有限公司－国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数证券投资基金 | 2880634股 | 0.787% | 2021-09-30 |
| 67 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 2460854股 | 0.672% | 2021-09-30 |
| 68 | 广州市玄元投资管理有限公司－玄元科新73号私募证券投资基金 | 2244000股 | 0.613% | 2021-09-30 |
| 69 | 李长 | 2240000股 | 0.612% | 2021-09-30 |
| 70 | 广州市玄元投资管理有限公司－玄元科新75号私募证券投资基金 | 2203100股 | 0.602% | 2021-09-30 |
| 71 | 杨云春 | 61341759股 | 16.754% | 2021-06-30 |
| 72 | 北京集成电路制造和装备股权投资中心(有限合伙) | 9775433股 | 2.67% | 2021-06-30 |
| 73 | 香港中央结算有限公司 | 7374335股 | 2.014% | 2021-06-30 |
| 74 | 刘琼 | 5250972股 | 1.434% | 2021-06-30 |
| 75 | 苏颜翔 | 4677680股 | 1.278% | 2021-06-30 |
| 76 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 4380600股 | 1.196% | 2021-06-30 |
| 77 | 广州市玄元投资管理有限公司－玄元科新73号私募证券投资基金 | 3000000股 | 0.819% | 2021-06-30 |
| 78 | 广州市玄元投资管理有限公司－玄元科新75号私募证券投资基金 | 3000000股 | 0.819% | 2021-06-30 |
| 79 | 李纪华 | 2898296股 | 0.792% | 2021-06-30 |
| 80 | 中国银行股份有限公司－国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数证券投资基金 | 2608234股 | 0.712% | 2021-06-30 |
| 81 | 杨云春 | 61341759股 | 16.754% | 2021-03-31 |
| 82 | 北京集成电路制造和装备股权投资中心(有限合伙) | 16165309股 | 4.415% | 2021-03-31 |
| 83 | 中国建设银行股份有限公司－华夏国证半导体芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 8967007股 | 2.449% | 2021-03-31 |
| 84 | 刘琼 | 5360972股 | 1.464% | 2021-03-31 |
| 85 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 5229584股 | 1.428% | 2021-03-31 |
| 86 | 中国银行股份有限公司－国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数证券投资基金 | 3569334股 | 0.975% | 2021-03-31 |
| 87 | 李纪华 | 3232296股 | 0.883% | 2021-03-31 |
| 88 | 广州市玄元投资管理有限公司－玄元科新73号私募证券投资基金 | 3000000股 | 0.819% | 2021-03-31 |
| 89 | 广州市玄元投资管理有限公司－玄元科新75号私募证券投资基金 | 3000000股 | 0.819% | 2021-03-31 |
| 90 | 香港中央结算有限公司 | 2859735股 | 0.781% | 2021-03-31 |
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