| 序号 | 股东名称 | 持股数量 | 流通% | 更新日期 |
| 1 | 杭州长川投资管理合伙企业(有限合伙) | 37558565股 | 5.9923% | 2024-06-30 |
| 2 | 赵轶 | 35390549股 | 5.6464% | 2024-06-30 |
| 3 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 24472883股 | 3.9045% | 2024-06-30 |
| 4 | 中国人寿保险股份有限公司-传统-普通保险产品-005L-CT001沪 | 11295484股 | 1.8021% | 2024-06-30 |
| 5 | 钟锋浩 | 8172902股 | 1.3039% | 2024-06-30 |
| 6 | 中国工商银行股份有限公司-易方达创业板交易型开放式指数证券投资基金 | 8134374股 | 1.2978% | 2024-06-30 |
| 7 | 中国银行股份有限公司-华夏行业景气混合型证券投资基金 | 6692564股 | 1.0678% | 2024-06-30 |
| 8 | 国泰君安证券股份有限公司-国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 5210339股 | 0.8313% | 2024-06-30 |
| 9 | 中国工商银行股份有限公司-金信稳健策略灵活配置混合型发起式证券投资基金 | 5110000股 | 0.8153% | 2024-06-30 |
| 10 | 上海浦东发展银行股份有限公司-长信金利趋势混合型证券投资基金 | 4800000股 | 0.7658% | 2024-06-30 |
| 11 | 杭州长川投资管理合伙企业(有限合伙) | 37558565股 | 8.195% | 2024-03-31 |
| 12 | 赵轶 | 35390549股 | 7.722% | 2024-03-31 |
| 13 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 30740718股 | 6.707% | 2024-03-31 |
| 14 | 中国人寿保险股份有限公司－传统－普通保险产品－005L－CT001沪 | 10163641股 | 2.218% | 2024-03-31 |
| 15 | 钟锋浩 | 8172902股 | 1.783% | 2024-03-31 |
| 16 | 中国工商银行股份有限公司－易方达创业板交易型开放式指数证券投资基金 | 7864474股 | 1.716% | 2024-03-31 |
| 17 | 香港中央结算有限公司 | 7740946股 | 1.689% | 2024-03-31 |
| 18 | 中国银行股份有限公司－华夏行业景气混合型证券投资基金 | 6692564股 | 1.46% | 2024-03-31 |
| 19 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 6223903股 | 1.358% | 2024-03-31 |
| 20 | 中国工商银行股份有限公司－金信稳健策略灵活配置混合型发起式证券投资基金 | 5165000股 | 1.127% | 2024-03-31 |
| 21 | 杭州长川投资管理合伙企业(有限合伙) | 37558565股 | 8.326% | 2023-12-31 |
| 22 | 赵轶 | 35390549股 | 7.845% | 2023-12-31 |
| 23 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 30740718股 | 6.815% | 2023-12-31 |
| 24 | 中国人寿保险股份有限公司－传统－普通保险产品－005L－CT001沪 | 10695651股 | 2.371% | 2023-12-31 |
| 25 | 招商银行股份有限公司－东方红睿泽三年定期开放灵活配置混合型证券投资基金 | 10250302股 | 2.272% | 2023-12-31 |
| 26 | 香港中央结算有限公司 | 8358528股 | 1.853% | 2023-12-31 |
| 27 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 7324478股 | 1.624% | 2023-12-31 |
| 28 | 钟锋浩 | 6911852股 | 1.532% | 2023-12-31 |
| 29 | 中国银行股份有限公司－华夏行业景气混合型证券投资基金 | 6692564股 | 1.484% | 2023-12-31 |
| 30 | 中国工商银行股份有限公司－金信稳健策略灵活配置混合型发起式证券投资基金 | 5240000股 | 1.162% | 2023-12-31 |
| 31 | 杭州长川投资管理合伙企业(有限合伙) | 37558565股 | 8.326% | 2023-09-30 |
| 32 | 赵轶 | 35390549股 | 7.845% | 2023-09-30 |
| 33 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 31048218股 | 6.883% | 2023-09-30 |
| 34 | 香港中央结算有限公司 | 11146837股 | 2.471% | 2023-09-30 |
| 35 | 中国人寿保险股份有限公司－传统－普通保险产品－005L－CT001沪 | 9566160股 | 2.121% | 2023-09-30 |
| 36 | 招商银行股份有限公司－东方红睿泽三年定期开放灵活配置混合型证券投资基金 | 9201835股 | 2.04% | 2023-09-30 |
| 37 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 8373786股 | 1.856% | 2023-09-30 |
| 38 | 中国建设银行股份有限公司－银华集成电路混合型证券投资基金 | 7015924股 | 1.555% | 2023-09-30 |
| 39 | 钟锋浩 | 6911852股 | 1.532% | 2023-09-30 |
| 40 | 中国农业银行股份有限公司－东方人工智能主题混合型证券投资基金 | 6063401股 | 1.344% | 2023-09-30 |
| 41 | 杭州长川投资管理合伙企业(有限合伙) | 37558565股 | 8.326% | 2023-06-30 |
| 42 | 赵轶 | 35390549股 | 7.845% | 2023-06-30 |
| 43 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 34757918股 | 7.705% | 2023-06-30 |
| 44 | 香港中央结算有限公司 | 11418294股 | 2.531% | 2023-06-30 |
| 45 | 钟锋浩 | 6911852股 | 1.532% | 2023-06-30 |
| 46 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 6468317股 | 1.434% | 2023-06-30 |
| 47 | 中国建设银行股份有限公司－银华集成电路混合型证券投资基金 | 6284954股 | 1.393% | 2023-06-30 |
| 48 | 中国人寿保险股份有限公司－传统－普通保险产品－005L－CT001沪 | 5874046股 | 1.302% | 2023-06-30 |
| 49 | 招商银行股份有限公司－东方阿尔法优势产业混合型发起式证券投资基金 | 5684259股 | 1.26% | 2023-06-30 |
| 50 | 中国银行股份有限公司－国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数证券投资基金 | 5579202股 | 1.237% | 2023-06-30 |
| 51 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 40837340股 | 9.053% | 2023-03-31 |
| 52 | 杭州长川投资管理合伙企业(有限合伙) | 37558565股 | 8.326% | 2023-03-31 |
| 53 | 赵轶 | 35390549股 | 7.845% | 2023-03-31 |
| 54 | 香港中央结算有限公司 | 10235184股 | 2.269% | 2023-03-31 |
| 55 | 钟锋浩 | 8593252股 | 1.905% | 2023-03-31 |
| 56 | 银华基金-中国人寿保险股份有限公司-传统险-银华基金国寿股份成长股票传统可供出售单一资产管理计划 | 6171968股 | 1.368% | 2023-03-31 |
| 57 | 中国工商银行股份有限公司-金信稳健策略灵活配置混合型发起式证券投资基金 | 5755000股 | 1.276% | 2023-03-31 |
| 58 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司-上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业(有限合伙) | 5084118股 | 1.127% | 2023-03-31 |
| 59 | 中国人寿保险股份有限公司-传统-普通保险产品-005L-CT001沪 | 5046462股 | 1.119% | 2023-03-31 |
| 60 | 中国工商银行股份有限公司—东方红启元三年持有期混合型证券投资基金 | 4548600股 | 1.008% | 2023-03-31 |
| 61 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 40837340股 | 9.115% | 2022-12-31 |
| 62 | 杭州长川投资管理合伙企业(有限合伙) | 37558565股 | 8.383% | 2022-12-31 |
| 63 | 赵轶 | 35390549股 | 7.899% | 2022-12-31 |
| 64 | 香港中央结算有限公司 | 15752585股 | 3.516% | 2022-12-31 |
| 65 | 中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金 | 9749736股 | 2.176% | 2022-12-31 |
| 66 | 钟锋浩 | 8593252股 | 1.918% | 2022-12-31 |
| 67 | 银华基金-中国人寿保险股份有限公司-传统险-银华基金国寿股份成长股票传统可供出售单一资产管理计划 | 6171968股 | 1.378% | 2022-12-31 |
| 68 | 招商银行股份有限公司-华夏新兴成长股票型证券投资基金 | 5388517股 | 1.203% | 2022-12-31 |
| 69 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司-上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业(有限合伙) | 5084118股 | 1.135% | 2022-12-31 |
| 70 | 全国社保基金一零七组合 | 4865647股 | 1.086% | 2022-12-31 |
| 71 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 40837340股 | 9.115% | 2022-09-30 |
| 72 | 杭州长川投资管理合伙企业(有限合伙) | 37558565股 | 8.383% | 2022-09-30 |
| 73 | 赵轶 | 35390549股 | 7.899% | 2022-09-30 |
| 74 | 香港中央结算有限公司 | 11971056股 | 2.672% | 2022-09-30 |
| 75 | 钟锋浩 | 8593252股 | 1.918% | 2022-09-30 |
| 76 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司－上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业(有限合伙) | 6504818股 | 1.452% | 2022-09-30 |
| 77 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 | 5774936股 | 1.289% | 2022-09-30 |
| 78 | 交通银行股份有限公司－南方成长先锋混合型证券投资基金 | 5274500股 | 1.177% | 2022-09-30 |
| 79 | 招商银行股份有限公司－华夏新兴成长股票型证券投资基金 | 5095261股 | 1.137% | 2022-09-30 |
| 80 | 中国工商银行股份有限公司－金信稳健策略灵活配置混合型发起式证券投资基金 | 4280000股 | 0.955% | 2022-09-30 |
| 81 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 40837340股 | 9.115% | 2022-06-30 |
| 82 | 杭州长川投资管理合伙企业(有限合伙) | 37558565股 | 8.383% | 2022-06-30 |
| 83 | 赵轶 | 35390549股 | 7.899% | 2022-06-30 |
| 84 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司－上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业(有限合伙) | 12548028股 | 2.801% | 2022-06-30 |
| 85 | 朱红军 | 9351922股 | 2.087% | 2022-06-30 |
| 86 | 钟锋浩 | 8593252股 | 1.918% | 2022-06-30 |
| 87 | 交通银行股份有限公司－诺安和鑫保本混合型证券投资基金 | 7579766股 | 1.692% | 2022-06-30 |
| 88 | 招商银行股份有限公司－华夏新兴成长股票型证券投资基金 | 6589037股 | 1.471% | 2022-06-30 |
| 89 | 香港中央结算有限公司 | 6467873股 | 1.444% | 2022-06-30 |
| 90 | 楼希 | 5980000股 | 1.335% | 2022-06-30 |
| 91 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 40857640股 | 9.312% | 2022-03-31 |
| 92 | 杭州长川投资管理合伙企业(有限合伙) | 37558565股 | 8.56% | 2022-03-31 |
| 93 | 赵轶 | 35390549股 | 8.066% | 2022-03-31 |
| 94 | 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司－上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业(有限合伙) | 12548028股 | 2.86% | 2022-03-31 |
| 95 | 朱红军 | 10143042股 | 2.312% | 2022-03-31 |
| 96 | 钟锋浩 | 8593252股 | 1.959% | 2022-03-31 |
| 97 | 交通银行股份有限公司－诺安和鑫保本混合型证券投资基金 | 8534566股 | 1.945% | 2022-03-31 |
| 98 | 吴晓婷 | 7970286股 | 1.817% | 2022-03-31 |
| 99 | 招商银行股份有限公司－华夏新兴成长股票型证券投资基金 | 7969231股 | 1.816% | 2022-03-31 |
| 100 | 中国工商银行股份有限公司－华安媒体互联网混合型证券投资基金 | 6514440股 | 1.485% | 2022-03-31 |
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